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摘要
本发明公开了一种金刚石复合衬底氮化镓器件的制备方法及其器件,所述方法包括以下步骤：对第一衬底的第一表面进行刻蚀,形成若干凹槽；在具有若干凹槽的第一表面生长金刚石材料,并使所述金刚石材料填满所述凹槽且覆盖所述第一衬底的第一表面,以形成第二衬底；对所述第一衬底的第二表面进行减薄处理使所述金刚石露出,形成复合衬底；在所述复合衬底上选择性的生长氮化物材料,以形成氮化物缓冲层。本发明通过金刚石与氮化物材料直接接触,避免了在氮化物材料与金刚石之间采用介质层,消除了介质层热阻对氮化镓功率器件的影响,有效解决了氮化镓大功率器件的散热问题,提高了器件性能。
- 单位
