直拉式单晶炉动态性能分析与预测

作者：杨润; 李淑娟; 彭曦; 胡超

来源：西安理工大学学报, 2012, (03): 298-302.

DOI：10.19322/j.cnki.issn.1006-4710.2012.03.009

• 直拉式单晶炉
• 结合部
• 模态分析 CZ single crystal furnace
• junctions
• modal analysis

采用弹簧-阻尼单元模拟直拉式单晶炉结合部的连接,建立TDR-120型直拉式单晶炉整机动力学分析模型。利用ANSYS软件进行模态分析,获得了该类型单晶炉结构的振动特性,并将模拟结果与采用刚性连接的模拟结果进行对比。结果表明,本文建立的模型具有较高的准确性,能够分析和预测直拉式单晶炉的动态性能。

• 单位
  西安理工大学; 西安理工晶体科技有限公司