自动化椭圆偏振光谱仪的研制

作者：郭扬铭; 莫党; 张曰理; 唐振方

来源：中山大学学报(自然科学版), 2005, (01): 124-125+128.

• 偏光谱仪
• 光度法
• 硬件
• 软件 ellipsometer
• photometry
• hardware
• software

介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制。测试结果表明:仪器对椭偏参数tanΨ的重复性测量精度为±0 0004,cosΔ的重复性测量精度为±0 001,膜厚的相对误差小于0 5%。