计算流体力学(CFD)在化学气相沉积(CVD)模拟仿真中的应用

作者：张博闻; 吴勇^*; 杨甫; 夏思瑶; 黄天纵; 孟施旭

来源：材料保护, 2022, 55(09): 141-147.

DOI：10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0259

• CVD
• 计算流体力学
• 仿真方法
• CFD应用

CVD工艺在工业生产中得到广泛应用，但CVD产物却受到许多参数的影响，而这些参数的变化如何影响沉积质量则需要重复试验才能得出结论。在CVD领域中引入计算流体力学(CFD)方法来对CVD过程进行数值模拟研究可以达到有效降低研发成本、提高沉积效率等目的。简要介绍了计算流体力学的概念；接着以ANSYS Fluent软件为例，简述了计算流体力学仿真分析的方法；最后分别综述了计算流体力学方法在建立CVD反应的研究模型、CVD反应器结构改进以及CVD工艺优化等方面的应用。

• 单位
  武汉材料保护研究所有限公司