国产硅片锥形缺陷的改善方法

作者：陆振杰; 李杰; 郎玉红

来源：上海师范大学学报(自然科学版), 2020, 49(04): 483-486.

• 国产硅片
• 锥形缺陷
• 硅片磨边
• 等待时间

针对某国产硅片在验证过程中的锥形缺陷,通过优化拉晶和制作工艺中的等待时间管控,减少硅片的缺陷,提升硅片的质量.