哈氏合金表面粗糙度AFM测量中扫描尺度等问题研究

作者：冯峰; 瞿体明; 肖绍铸; 张燕怡; 史锴; 韩征和

来源：稀有金属, 2013, (02): 216-223.

• 原子力显微镜
• 哈氏合金
• 表面粗糙度
• 扫描尺度
• 抛光 atomic force microscopy(AFM)
• Hastelloy C276
• surface roughness
• scan scale
• polishing

哈氏合金Hastelloy C276是一种被广泛应用的镍基合金,具有机械性能优良、抗腐蚀能力强等优势,在第二代高温超导导线的离子束辅助沉积(IBAD)技术路线中被用作金属基底,因此其表面抛光与粗糙度测量受到了广泛重视。哈氏合金的表面形貌和粗糙度测量一般采用原子力显微镜(AFM)方法,在该方法中扫描尺度对测量结果具有显著的影响。本研究对两个分别进行了电化学抛光和机械抛光的哈氏合金带材短样,在1~70μm范围内选取不同扫描尺度进行了AFM测量,从而对其表面形貌获得了全面的了解,并发现其表面粗糙度随着扫描尺度的变大出现了明显的增大,文中还在不同扫描尺度下考察了电化学抛光与机械抛光的作用区别。此外,本...

• 单位
  清华大学深圳研究生院