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摘要
根据光纤通信无源器件对光学薄膜的特殊需求,要求在光纤尾纤上镀制较复杂的波分复用滤光膜,针对光纤镀膜所存在的难点问题,利用TFCalc膜系设计软件采用解析法设计出一个初始的规整膜系,再结合梯度优化法在该规整膜系上有选择性的局部优化,并考虑镀膜设备所允许的膜层灵敏度,评估其鲁棒性和可镀制性,从而设计出满足光谱特性要求的滤光膜膜系。然后通过对德国莱宝APS1104型镀膜机进行内部结构改造并选择合适的冷镀工艺,最终采用离子源辅助沉积对所设计的膜系进行了实际镀制,获得了性能优良的光纤尾纤波分复用滤光膜。
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单位武汉东湖学院; 电子信息工程学院
