氙气中全杂质的分析方法研究

作者：刘汉兵; 万芳; 查玲; 韩曦; 杨艳; 程效明; 孙超; 郁光; 方华

来源：低温与特气, 2023, 41(01): 28-31.

• 氦离子气相色谱仪
• 高纯氙气
• 气相色谱法

建立了一种利用氦离子气相色谱仪检测氙气中全杂质的分析方法，通过色谱柱选择切换、反吹放空等技术，采用最佳色谱仪工作参数及阀切时间，解决了分离氧气和氩气，分离四氟化碳、六氟乙烷和六氟化硫的分析难点。结果表明，该分析方法大大提高了氙气中杂质的检测效率及准确度，能够检测氙气中10-9级微量杂质。