晶圆制造AMHS防堵塞路径规划方法研究

作者：吴立辉; 李元生; 周秀; 张中伟

来源：计算机仿真, 2023, 40(11): 284-289.

• 晶圆制造
• 自动化物料运输系统
• 防堵塞
• 路径规划
• 动态调整

自动化物料运输系统(Automated Material Handling System, AMHS)是12英寸晶圆制造系统至关重要的组成部分，AMHS中的天车(Overhead Hoist Transport, OHT)频繁堵塞严重影响AMHS和晶圆制造系统的运行性能。为减少AMHS运行中的OHT堵塞，提出一种基于运输导轨通行权重动态调整与Dijkstra算法(Guide-rail Passing-weight Dynamic Adjustment and Dijkstra Algorithm, GPDADA)的动态路径规划方法。方法基于各运输导轨中的OHT实时通行时间与实时堵塞信息动态调整运输导轨通行权重表，并采用Dijkstra算法动态获取通行权重加权最小的OHT优化搬运路径。实验研究表明，提出的GPDADA方法在多个AMHS性能指标方面均优于传统OHT防堵塞路径规划方法，验证了GPDADA方法的有效性。

• 单位
  河南工业大学; 机电工程学院; 上海应用技术大学