电容式硅微传声器设计及其移动通信中的应用

作者：孙长城; 马治国

来源：电声技术, 2013, (07): 18-21.

DOI：10.16311/j.audioe.2013.07.012

• 电容式硅微硅传声器
• 电-力-声类比
• 仿真 capacitive silicon microphone
• analogy of electricity-mechanics-acoustics
• simulation

介绍了电容式硅微传声器的构造和工作原理,采用电-力-声类比法,建立了通用电容式硅微传声器的集总参数等效电路模型,并运用PSPICE软件对其动态特性进行计算机仿真,得到了仿真模型在1 kHz处的灵敏度达到-40 dB,并且在可听域范围内,频率响应平坦。

• 单位
  深圳电信研究院