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摘要
为了满足超冷量子气体亚微米原子成像分辨率的需求，本文基于无限远显微物镜结构原理设计加工了一套高分辨率原子显微成像系统。所设计的高分辨率显微成像光学系统的数值孔径为0.55、工作距离可达14mm，并在200μm×200μm视场范围内光学传递函数（MTF）曲线逼近理论衍射极限。该高分辨显微成像物镜系统实际分辨率小于1μm，可校正由真空视窗引入的像差，改善真空系统内的冷原子成像分辨率，为超冷量子气体实验提供了更加精确直观的成像探测工具。
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单位华东师范大学; 精密光谱科学与技术国家重点实验室
