国产衬底片在双极型集成电路制造中的应用

作者：戴学春; 周卫平; 任萍萍

来源：集成电路应用, 2018, 35(03): 45-48.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2018.03.012

• 集成电路制造
• 硅衬底
• 双极型集成电路
• 衬底物理参数
• 衬底翘曲
• 失焦
• 电参数
• 工程能力指数

随着国产衬底的生产工艺和控制能力的不断提升,国产衬底的应用也越来越广。作者就国产衬底在双极型集成电路制造中普遍关心的问题做了全面的评估,包括物理参数、电参数、圆片合格率,以及大规模生产的工程能力指数。评估结果说明国产衬底在品质上已经完全能够媲美进口衬底,满足大规模生产的需求。