中国计量测试学会推荐项目入选科协“十大工程难题”

作者：史玉成

来源：中国计量, 2021, (06): 14-15.

DOI：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2021.06.010

<正>本刊讯在中国计量测试学会迎来60华诞之际,5月18日,该学会召开重要信息发布会,宣布其推荐的"如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题"入选2020年中国科协"十大工程难题","大长径比纳米探针可控制备技术及应用"入选"科创中国"电子信息技术领域十大先导技术榜单。由其制定的两项重要团体标准开始实施。