外加圆弧保护装置在单晶硅生产中的应用

作者：廉佳林; 董皓; 王成; 辛玉龙

来源：山西化工, 2018, 38(03): 136-137.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2018.03.50

• 单晶硅
• 掉棒
• 圆弧保护装置

单晶硅棒在生产完毕后,出炉前的温度大约在200℃,由于高温的存在,晶棒在受到外界磕碰或其他异常时会掉落,造成严重的经济损失和人员伤害,使得晶棒卸取过程变得十分危险,在生产中采用活叶的保护框来对整个过程进行监护,避免掉棒产生的损失与人员伤害。