二氯二氢硅对多晶硅生产的影响

作者：周万礼; 马启坤; 王金; **雄

来源：云南化工, 2018, 45(01): 25-26.

• 多晶硅生产
• 二氯二氢硅
• 影响
• 控制

二氯二氢硅是多晶硅生产中产生的主要副产物,其长期富集在生产系统会对质量、安全及系统稳定运行造成影响。通过分析二氯二氢硅的来源,并综合现有生产工艺特点,实现生产系统中二氯二氢硅的有效控制。

• 单位
  云南冶金云芯硅材股份有限公司