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摘要
针对低功耗、高性能非接触式电压测量的需求，提出一种基于驻极体电容结构的非接触式电压测量技术。驻极体电容结构由正面蒸发有金属导电薄膜的驻极体薄膜、绝缘衬圈和金属电极构成，通过理论分析和有限元仿真，得到传感器的输出响应关系，并通过搭建实验测试平台对传感器进行性能测试。测试结果表明，传感器输出响应特性与理论分析吻合，并具有较好的线性度和重复性，在施加600、800、1 000 Hz被测电压条件下，传感器的线性度分别达到6.1%、3.5%、2.7%,重复性分别达到9.67%、 5.93%、5.46%。
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单位传感技术国家重点实验室; 中国科学院; 中国科学院大学
