摘要

本发明适用于屏蔽泵技术领域,一种屏蔽泵主轴轴向窜动的检控装置、方法及屏蔽泵,所述屏蔽泵主轴轴向窜动的检控装置包括:缸体;与所述缸体配合的活塞,并形成密封结构。连接结构,其用于连接所述活塞与所述主轴;传感器,其用于检测所述缸体内的压强;所述主轴在产生轴向窜动时,推拉所述活塞在所述缸体内移动,所述传感器由此输出相应的压力信号即电荷q。控制器,其根据所述压力信号,计算所述主轴的轴向窜动量即轴向窜动位移x:x=(dnRT)/q;其中,d为所述传感器的压电系数,n表示所述缸体的物质的量,T表示所述缸体内的绝对温度,R表示缸体气体常数。本发明优点:结构简单,体积小,抗干扰能力强,装配容易,使用安全,不污染环境,成本低。