PCVD直流脉冲频率对TiN/TiSiN复合涂层结构与性能的影响

作者：宋之敏; 曾天; 高见; 李洪林; 宿福利; 李祝

来源：工具技术, 2012, 46(12): 13-17.

DOI：10.3969/j.issn.1000-7008.2012.12.003

• TiN/TiSiN涂层
• 脉冲频率
• 微观结构
• 性能

为了探讨频率对硬质合金基体上TiN/TiSiN复合涂层组织结构及性能的影响,选择了几个不同频率来制备TiN/TiSiN复合涂层.研究结果表明:不同频率制备TiN/TiSiN复合涂层的表面形貌都呈圆盘状颗粒,频率在30kHz-70kHz变化时,复合涂层颗粒尺寸随频率的增加而增大,均匀性随频率的增加而变差；复合涂层频率在30kHz-70kHz变化时,TiN始终在(200)方向上择优取向；硬质合金基体上,TiN/TiSiN复合涂层比单一TiN涂层的硬度提高更大,从1973 HV0.05增加到3417 HV0.05；30kHz时TiN/TiSiN复合涂层的硬度、涂层结合力和耐磨性能明显优于其他两种TiN/TiSiN复合涂层.故在硬质合金基体上,30kHz制备的TiN/TiSiN复合涂层工艺最佳.

• 单位
  四川大学; 成都工具研究所有限公司