微型化是传统的化工、材料、能源、制药等行业重要的发展方向之一。对日益发展的微纳米工业装备,从微米和纳米技术两个层面进行分析。阐述了各种微纳米装备的研究现状、必要性、工艺性能和设备特点。从制造、集成、建模和模拟等方面,简要论述了纳米技术在未来发展中面临的挑战。
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