镍对多弧离子镀制备的铬基金属衬底性能的影响

作者：王古平; 熊传兵; 江风益

来源：稀有金属, 2007, (04): 515-519.

DOI：10.13373/j.cnki.cjrm.2007.04.036

• 多弧离子镀膜
• 铬基金属衬底
• 择优取向
• 表面粗糙度

利用多弧离子镀和选择腐蚀相结合的技术在Si(111)衬底上首次制备了具有择优取向的铬基金属衬底,该金属衬底具有与外延级硅衬底一致的表面粗糙度及平整度。采用SEM,EDX,XRD和显微硬度计对铬基金属衬底进行了表征。研究表明:镍铬共镀有利于获得(110)择优取向的铬基金属衬底,同时镍铬共镀对表面形貌、显微硬度、平整度均存在一定影响。

• 单位
  南昌大学; 教育部发光材料与器件工程研究中心