氮化硅滚子化学机械复合抛光工艺参数与表面粗糙度的关系

作者：谭晓媛^*

来源：中国陶瓷工业, 2020, 27(05): 16-19.

DOI：10.13958/j.cnki.ztcg.2020.05.004

• 氮化硅陶瓷滚子
• 化学机械
• 复合抛光
• 粗糙度

为优化氮化硅陶瓷滚子化学机械复合抛光技术工艺参数,得到高性能氮化硅陶瓷滚子。通过改变抛光机主轴转速及磁流变抛光液温度,探究各参数对氮化硅陶瓷滚子表面粗糙的影响,并获得各参数对表面粗糙度的影响曲线。总结对应影响规律,结果表明:随着主轴转速的增大,氮化硅陶瓷滚子表面粗糙度逐渐减小,且变化率逐渐减小;当其他条件不变时,磁流变抛光液温度对氮化硅陶瓷滚子表面粗糙度影响不大,保持在0.035μm左右。

• 单位
  化学化工学院; 赣南师范大学