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摘要
传统物理光栅投影无法兼顾高精度、强适应性条纹投射,数字投影技术虽然能实现自适应,但却受分辨率及非线性的限制,难以产生高密度正弦条纹,这两种投影方式均不适合小尺寸物体形貌的精确测量。为了提高对小尺寸物体的测量精度,采用干涉仪投影与傅里叶变换轮廓术结合的方法,利用干涉仪产生干涉条纹,这种方法产生的条纹正弦性好,避免了DLP的正弦畸变,从而保证了光源的优质性,傅里叶变换无需考虑复杂的物理相移装置,测量速度快。使用提出的方法对一个平滑小尺寸物体高度进行恢复,实验结果表明该方法具有有效性与可行性。
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