SnO_2气敏膜的生成方法概况

作者：康学勤; 孙智; 赵宇龙; 杨春敏

来源：煤矿机械, 2004, (02): 89-91.

DOI：10.13436/j.mkjx.2004.02.040

• 气敏性
• SnO_2薄膜
• 传感器
• 溅射

介绍了现存的SnO_2的生成方法,分析了影响SnO_2薄膜的一些因素以及这些因素在实验中对SnO_2薄膜厚度及性质的影响,为今后研究SnO_2薄膜的生成方法打下了基础。

• 单位
  中国矿业大学（北京）; 中国矿业大学