<正>光敏器件是敏感器件中的重要类型,在光学测量、光纤通信、光探测、自动控制、仪器仪表、AI智能等科学技术和工业生产领域有十分广泛的应用。而硅光敏器件则是目前使用最广泛的光敏器件。近几年来,我国半导体硅光敏器件的研制与生产又有了多方面的进展。这些进展不仅表现在器件性能的提高和器件功能的扩展。而且表现在新型原理的提出与实施。