透明导电薄膜（Ⅰ）：掺杂透明导电氧化物薄膜

作者：闫彩波; 周艳文^*; 王鼎

来源：辽宁科技大学学报, 2021, 44(02): 99-110.

DOI：10.13988/j.ustl.2021.02.004

• 透明导电氧化物薄膜
• 掺杂
• 结构特征
• 光电性能
• 制备方法

透明导电氧化物薄膜具有良好的光电性能。作为前电极,此类半导体材料薄膜广泛应用于半导体器件。本文以典型的掺杂TCO薄膜为切入点,综述了透明导电氧化物薄膜的发展历史及应用,重点阐述了几种典型掺杂TCO薄膜的结构特征、光电特性、制备方法及应用展望。

• 单位
  辽宁科技大学