新型的ISFET微传感器读出电路单芯片集成研究

作者：魏金宝; 杨海钢; 韩泾鸿; 孙红光; 夏善红

来源：电子学报, 2007, (02): 224-227.

• 微传感器
• 读取电路
• 单芯片
• 集成系统 micro-sensor
• readout circuit
• monolithic integration
• system on a chip

生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFET微传感差分对、双模式ISFET/REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等,采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3.3V标准CMOS工艺流片.同时进行传感器芯片的pH响应实验测试,获得53mV/pH灵敏度.

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 中国科学院研究生院; 传感技术国家重点实验室