中红外抗CO2气体辐射负滤光片的研制(特邀)

作者：付秀华; 张天翔^*; 熊仕富; 林兆文; 王奔

来源：光子学报, 2022, 51(09): 50-58.

• 光学薄膜
• 负滤光片
• 膜层敏感度
• 气体辐射
• 红外探测器

为提高中红外探测系统在载体高速运动过程中的探测精度，研制了抗CO2气体辐射的负滤光片，在非球面单晶Si基板表面，选择Ge、ZnS和YbF3作为镀膜材料，结合膜系设计基础理论，使用OptiLayer膜系设计软件对负滤光膜进行设计，石英晶体膜厚控制仪进行厚度监控。根据实验结果及膜层敏感度反演分析，优化膜厚监控方案解决了负滤光膜通带次峰过多及透射率下降等问题。测试结果表明，制备的负滤光片在4.15～4.4μm、5.15～5.5μm波段平均透射率分别为0.87%和0.23%;3.65～3.95μm、4.50～4.85μm波段平均透射率分别为87.04%和89.79%。研制的负滤光片有效提高了目标的探测精度，为中红外探测技术提供了重要的技术支持。

• 单位
  天津理工大学; 长春理工大学