扫描电镜潘宁规的维修过程详解

作者：程铭; 方玲

来源：分析仪器, 2013, (05): 113-116.

• 扫描电镜
• 潘宁规
• 维修
• 皮拉尼

详细分析FEI Nova NanoSEM 230扫描电镜的潘宁规的维修过程,为积累处理扫描电镜故障的经验提供便利,对类似型号的维修有一定的借鉴意义。

• 单位
  粉末冶金国家重点实验室; 中南大学