一种谐振器型单端SAW湿度传感器测试系统

作者：张奕; 吴志明; 杨桃均; 罗凤武; 杜晓松

来源：传感器世界, 2007, (05): 13-16.

DOI：10.16204/j.cnki.sw.2007.05.003

• 声表面波
• 湿度传感器
• 皮尔斯振荡器 SAW
• humidity sensor
• Pierce oscillator

声表面波(SAW)传感器已经广泛应用在各个领域。本文介绍了一种基于改进皮尔斯振荡器,中心频率为433.92MHz的谐振器型单端SAW(SAWR)湿度传感器的测试系统,经测试该办法可有效抑制同频点传统SAW振荡器所产生的87MHz附近的谐波,并能有效提高输出信号的功率。本文采用有机复合材料酞菁铜(CuPc)掺杂聚乙烯吡咯烷酮(PVP)作为SAW传感器敏感膜进行了湿度测试,并讨论了膜层厚度对传感器特性的影响。

• 单位
  光电信息学院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室