超分辨弱旁瓣硅基超构透镜

作者:张坤; 马子杰; 周毅*; 梁高峰; 温中泉; 张智海; 尚正国; 陈刚
来源:光电工程, 2022, 49(11): 91-100.

摘要

超表面是一种空间变化的超薄纳米结构,在光学超分辨聚焦透镜或系统中已经得到广泛研究和应用。然而,随着超构透镜聚焦光斑缩小,不可避免产生大旁瓣,限制了透镜视场和应用潜力。本文提出了一种设计大数值孔径(NA=0.944)超分辨弱旁瓣超构透镜的方法。针对波长λ=632.8 nm的圆偏振光,基于硅基超表面PB相位调控,实现了超分辨弱旁瓣点聚焦超构透镜。实验证明,可以实现聚焦光斑半高全宽FWHM=0.45λ,小于衍射极限0.53λ(衍射极限为0.5λ/NA),旁瓣比Sidelobe Ratio(SR)=0.07。该透镜的应用有望实现超分辨光学器件或系统微型化、轻量化和集成化。