碲镉汞雪崩焦平面器件

作者:李浩; 林春*; 周松敏; 郭慧君; 王溪; 陈洪雷; 魏彦锋; 陈路; 丁瑞军; 何力
来源:红外与毫米波学报, 2019, 38(05): 587-590.

摘要

碲镉汞雪崩光电二极管以其高增益、高灵敏度和高速探测的优点成为第3代红外光电探测器的重要发展方向之一.制备了截止波长3.56μm的雪崩光电二极管焦平面器件,面阵规模为16×16.焦平面器件在0~6V偏压下有效像元率大于90%,非均匀性小于20%.6 V偏压下NEPh约为60,过剩噪声因子为1.2.