基于双层模型外延HgCdTe薄膜的霍尔测试

作者：彭曼泽; 丛树仁^*; 郭沁怡; 严顺英; 俞见云; 李培源; 杨春章; 李艳辉; 王燕; 田立萍; 孔金丞; 李东升; 杨玉林

来源：红外技术, 2018, 40(09): 847-852.

• 双层膜
• MBE
• HgCdTe薄膜
• 霍尔参数
• 扩展不确定度

采用Petritz双层薄膜结构模型,用化学腐蚀的方法分离MBE外延双色HgCdTe薄膜,测试并验证了双层模型对中短双色MBE外延HgCdTe薄膜中各层的霍尔参数计算的有效性,给出了测量不确定度评定以及相对误差。实验表明,MBE外延双层HgCdTe薄膜中的中波薄膜层电导率及霍尔系数的扩展不确定度范围分别为0.33～0.41W·cm和61～113cm3/C,置信概率为95%,与对比样品的中波膜层霍尔参数相比,载流子浓度及霍尔迁移率的相对误差分别小于20%和10%。

• 单位
  昆明物理研究所