反问题方法在3ω法测量薄膜热导率中的应用

作者：华钰超; 曹炳阳^*

来源：科学通报, 2019, 64(33): 3510-3514.

• 3ω方法
• 反问题方法
• 热导率
• 薄膜

数值计算证明, 3ω方法结合有限元方法与反问题方法,能够同时确定基底材料与薄膜的相关热物性.基底上薄膜的热导率可以获得很高的测量精度,而且几乎不受测量截止频率的影响;热扩散率的测量精度则相对较低,但随着测量截止频率增加,其测量精度会得到改善.使用上述方法得到了硅基底上二氧化硅薄膜的热导率.得到硅基底的热导率为142.1 W/(m K),相对误差约为2%,二氧化硅薄膜的热导率为1.01 W/(m K),相对误差约为2%,与公认的测量值相符.

• 单位
  清华大学