针对基于词嵌入模型不能准确表征低频化学术语嵌入的问题，提出了基于子词的化学术语嵌入表示方法，以提高低频化学术语嵌入表示的准确性。首先，引入化学术语词典，利用字节对编码方法，自动生成子词词表；其次，根据生成的子词词表，对化学术语进行编码，使用子词表示化学术语；最后，利用改进的词嵌入模型训练相关文本语料，根据子词嵌入计算化学术语嵌入，最终得到化学术语嵌入表示。实验结果表明，与已有的方法相比，方法能够有效地提高化学术语嵌入表示的准确性，特别是低频化学术语嵌入表示的准确性。
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