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摘要
本发明公开了一种基于铬-铌共掺杂二氧化钒外延薄膜的光热探测单元,该光热探测单元包括衬底层、生长在衬底层之上的铬-铌共掺杂二氧化钒外延薄膜、位于薄膜上的电极层。本发明采用铬-铌共掺杂二氧化钒外延薄膜作为感光层,与传统的氧化钒(包括二氧化钒等多种物相)光热探测单元相比,具有线性度高、迴滞小、温度响应范围宽且波长可分辨等优势；且与目前商业化的光热探测器相比,本发明的光热探测单元结构简单,易于工业化生产；同时,该光热探测器是非制冷型的,不需要低温工作环境,可应用在微测辐射热计或温度传感器等。
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