基于双预测器协同决策的晶圆级适应性测试方法

作者：梁**; 潘宇琦; 李俊明; 汤宇新; 曲金星; 易茂祥; 黄正峰; 鲁迎春

来源：2023-05-18, 中国, CN202310564186.2.

本发明公开了一种基于双预测器协同决策的晶圆级适应性测试方法,包括：1、数据预处理；2、利用RFECV算法对测试项进行筛选；3、利用随机森林算法建立基于测试项的质量预测器；4、根据BNR将晶粒划分为不同等级,建立基于空间信息的质量预测器；5、根据两种预测结果利用DBSCAN聚类算法对晶粒进行聚类,将不同类别的晶粒划分质量等级,根据晶粒不同等级类别的分布结果,逐次确定各个类别晶粒的质量。本发明能在降低晶圆的测试成本的同时,将测试逃逸和产量损失控制在极低的水平,保证较好的测试质量。

• 单位
  合肥工业大学