摘要
垂直腔是激光器、探测器、滤波器、传感器等器件的核心结构,垂直腔的光场分布对激光器、滤波器、传感器等的性能具有重要的影响。垂直腔的结构影响垂直腔的光场分布,从而影响基于垂直腔的器件设计、制作以及其性能。近年来人们围绕垂直腔的构建及其光场调控做了大量的研究,在理论基础以及器件应用等方面取得了显著进展。本文将介绍传统上/下分布布拉格反射镜垂直腔的色散特性,和其光场调控的方法以及它们在激光器和滤波器等领域的应用;再介绍基于一维和二维高折射率差亚波长光栅基复合腔的色散特性和光场调控,和它们在新型激光器和单片集成多波长滤波器阵列等领域的应用;最后对本文进行了总结并展望了垂直腔的新应用。
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单位中国电子科技集团公司信息科学研究院; 集成光电子学国家重点实验室; 中国科学院半导体研究所; 中国科学院大学