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摘要
本发明公开了一种基于变焦技术的物体表面三维粗糙度测量方法,该测量系统包含有如下硬件：“L”型z向支承架、步进电机、滚珠丝杠、一对丝杠螺母座、上限位开关、下限位开关、滑动联结块、限位开关挡板、由光学镜头和图像传感器组成的光学探头、标尺光栅和光栅读数头；在光学探头与被测物体处于不同的z向距离下,采集从离焦到聚焦再到离焦的图像序列；通过软件编程,主要运用数字图像相关法和对焦评价函数对采集到的图像序列进行处理,并运用粗糙度计算公式得到物体表面的三维粗糙度评定参数。本发明能够测量具有多种形状,不同材质,不同表面反射率的复杂几何结构的三维表面粗糙度,且测量精度可以达到微纳米级别。
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