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摘要
非晶薄膜由于其优异的性能而被广泛研究，如不粘性和耐腐蚀性，这对于大块金属玻璃形成能力强的Zr55Cu30Al10Ni5成分来说尤为突出。本文以Zr55Cu30Al10Ni5块状金属玻璃为靶材，通过直流磁控溅射制备非晶合金薄膜，研究了不同溅射功率对薄膜力学性能、不粘性、耐蚀性和表面粗糙度的影响。结果表明，在磁控溅射功率为75～165W的范围内，可以获得高质量的非晶态薄膜，其硬度达到～9.2GPa，弹性模量～164GPa，硬弹性比～0.055，自腐蚀电流密度～1.16μA·cm-2，自腐蚀电位-241.27m V，最大润湿角104°。这些性能数据与文献报道的接近，硬度甚至更高，证实该薄膜具有用于不粘和抗腐蚀方面的良好潜力。
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