基于DMD的数码全息光刻系统

作者：姜兆华; 张伟; 吴宾初; 沈冠群; 王国庆

来源：应用激光, 2010, (05): 410-413.

• DMD空间光调制器
• 激光全息
• 面阵干涉光刻
• 数字掩膜 DMD space light modulator
• laser holographic
• interference imaging
• digital mask

利用DMD空间光调制器与计算机的良好接口和控制系统的可编程性,将其作为二维图像发生器介入激光直写系统;采用高质量相机镜头,设计了基于DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统和相关的光刻软件,并进行了实验,制作了缩微图像、数字掩模灰度图像和激光数码全息图像等。

• 单位
  上海市激光技术研究所