多孔硅微腔的光学特性和环境污染物检测

作者：黄建峰; 李莎; 陈清伟; 蔡林涛

来源：中国科学:化学 , 2011, 41(10): 1677.

DOI：10.1007/sl1426-011-4346-3

• 多孔硅微腔
• 光学传感器
• 热氧化
• 表面修饰
• 环境污染物检测

利用电化学刻蚀,制备了由一个Fabry-Perot微腔夹于两个Bragg反射镜中的多孔硅微腔光学晶体.扫描电子显微镜(SEM)清晰揭示了这种结构的"三明治"式物理构造.通过改变阳极氧化参数,可以调节这种结构的光学特性.而通过合适的热氧化和表面化学修饰,这种结构可以用于环境污染物(如挥发性有机物乙腈、甲苯、环己烷、三氯甲烷、丙酮、乙醇的蒸汽和室内装修气体甲苯、氨气、甲醛)的光学传感检测.其中,热氧化和化学修饰过程由傅里叶红外光谱(FTIR)得以证实,而传感过程则通过修饰后的多孔硅微腔对目标分析物的光学响应得以实现.这种基于多孔硅微腔的光学传感器具有良好的稳定性、敏感性和选择性,因此在气体传感和环...

• 单位
  中国科学院; 中国科学院深圳先进技术研究院