神港智能仪表在控制半导体扩散工艺中的应用

作者：陆虹; 王鸿钰

来源：仪表技术, 2019, (08): 43-45.

DOI：10.19432/j.cnki.issn1006-2394.2019.08.014

• 程序控制器
• 调节仪
• 扩散炉
• 串级控制

在介绍神港几款新型智能仪表和扩散设备的简要工作原理的基础上,较详细地讨论了PCA1程序控制器在控制半导体主扩散工艺中的应用和WCL-13A调节仪在太阳能电池制造中的应用。介绍的内容对该领域的工程技术人员有较高的参考价值。