InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触（英文）

作者：张静; 吕红亮^*; 倪海桥; 牛智川; 张义门; 张玉明

来源：红外与毫米波学报, 2018, 37(06): 679-687.

• 欧姆接触
• 快速热退火
• InAs/AlSb异质结

为了得到较低的接触电阻,研究了帽层未掺杂的InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触.利用传输线模型(TLM)测量了接触电阻Rc.在最佳的快速热退火条件为275℃和20s时,InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au接触电阻值为0.128Ω·mm.TEM观察发现经过快速热退火后Pd已经扩散到半导体中有利于高质量欧姆接触的形成.研究表明经过Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触后Rc有明显减小,适用于InAs/AlSb异质结的应用.

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 西安电子科技大学