一种打开石墨烯带隙的方法

作者:苏杰; 袁海东; 林珍华; 常晶晶; 郝悦
来源:2019-08-15, 中国, ZL201910752677.3.

摘要

本发明公开了一种打开石墨烯带隙的方法,属于半导体电子技术领域,包括以下步骤:分别制备氧化镓层和石墨烯层;将石墨烯层转移至氧化镓层上,通过氧化镓和石墨烯之间的电荷转移改变石墨烯的电子结构,形成氧化镓/石墨烯异质结,实现石墨烯带隙的打开;本发明提供的打开石墨烯带隙的方法,制备工艺简单,器件结构清晰,能够较大程度的有效打开石墨烯带隙,对于将石墨烯应用到半导体电子器件领域有着重要的意义。