离子轰击碳膜诱导碳纳米尖端的形成和生长

作者：王廷志; 王必本

来源：河南师范大学学报(自然科学版), 2006, (03): 99-102.

DOI：10.16366/j.cnki.1000-2367.2006.03.029

• 碳纳米尖端
• 离子轰击
• 化学气相沉积 carbon nanotips
• ion bombardment
• chemical vapor deposition

用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si上制备了碳纳米尖端.用扫描电子显微镜、原子力显微镜和Raman光谱表征了碳膜的结构,以及用扫描电子显微镜和X射线光电子谱表征了碳纳米尖端的结构,结果表明碳膜是凸凹不平的非晶碳膜,碳纳米尖端是由sp2结构的碳组成.根据有关离子的溅射和沉积机制,分析了离子轰击碳膜诱导碳纳米尖端的形成和生长.

• 单位
  北京工业大学; 江南大学; 数理学院