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摘要
本发明公开了一种柔性FBAR滤波器的制造方法。该方法包括：在制备衬底上生长压电薄膜,在压电薄膜上制备底电极并图形化,在电极工作区上方沉积牺牲层材料,制备绝缘支撑层并图形化,得到晶圆；在硬质衬底旋涂临时键合层,将柔性衬底与硬质衬底键合,在复合衬底旋涂胶粘剂,与晶圆进行键合,将制备衬底去除,制备顶电极和电极互连金属；制备柔性保护层,将FBAR滤波器工作区域的保护层去除,形成上空腔,将硬质衬底解键合,得到柔性FBAR滤波器。本发明实现基于单晶AlN以及传统多晶AlN的柔性FBAR滤波器的制备,工艺简单,成本低、易操作,故本发明降低了柔性FBAR滤波器的加工难度和生产成本,提高了柔性器件的制备良率。
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