控制外延层过渡区改善Icm参数

作者：贾云波; 陈建标; 孙斌

来源：科技创新导报, 2018, 15(17): 89-90.

DOI：10.16660/j.cnki.1674-098X.2018.17.089

• Icm参数
• 外延
• 过渡区
• 自掺杂

双极型晶体管的Icm参数是衡量其大电流特性的重要参数,Icm的定义为:共发射极电流放大倍数下降最大值的一半时所对应的集电极电流。Icm参数是衡量晶体管大电流特性的重要参数,通过优化工艺,可以有效减少外延材料过渡区宽度,并且在Gemini2外延炉上生产出的外延材料Icm参数已达到国内先进水平。

• 单位
  江阴新顺微电子有限公司