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摘要
设计了一种具有宽动态范围的在线式MEMS微波功率检测系统，建立了MEMS悬臂梁的等效模型，对MEMS悬臂梁结构进行了过载功率的理论研究，得到过载功率与梁尺寸的关系。并基于此关系设计了不同尺寸的MEMS梁，以提高系统的功率检测上限，从而提高在线式微波功率检测系统的动态范围。根据系统的结构参数，得到系统理论动态范围为0～8.41 W。建立了微波功率检测系统的仿真模型，s参数仿真结果表明，在8～12 GHz下，系统的回波损耗为-37.61 dB至-46.15 dB,插入损耗为-0.28 dB至-0.16 dB。系统在具有较宽动态范围的同时兼具良好的微波特性。该研究对基于MEMS梁的微波功率检测系统设计具有一定的参考价值。
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