随着透明电子器件和柔性显示器的发展,柔性透明导电薄膜正在受到越来越多的关注。采用射频磁控溅射法在柔性衬底上低温沉积高透过率、低电阻率的CdO薄膜。研究了O2流量对薄膜的结晶性能、光学性质和导电性能的影响。研究结果表明,室温下沉积的CdO薄膜均为结晶性能良好的立方结构薄膜,(200)取向性明显。另一方面,O2流量对CdO薄膜的光电性能有很大的影响。O2流量过小时,薄膜的透光率较差,而当O2流量较大时,薄膜的电阻率较大,当O2流量大于3 cm3/min时,光学透光率不再有大的变化。
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