一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计

作者：杨广立; 冯飞; 熊斌; 王跃林

来源：半导体光电, 2007, (03): 327-330+337.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2007.03.007

• 双材料梁-微镜一体化
• 热-机械灵敏度
• 热时间常数
• 噪声等效温差
• 光读出红外成像阵列器件 bi-material beam micro-mirror integrated structures
• thermal-mechanical sensitivity
• thermal time constant
• noise equivalent temperature difference(NETD)
• optically readable infrared imaging array device

提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 中国科学院研究生院